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廖志杰

作品数：62 被引量：58H指数：4
供职机构：中国科学院光电技术研究所更多>>
发文基金：江苏省高技术研究计划项目更多>>
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传媒

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地区

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林妩媚
供职机构：中国科学院光电技术研究所
研究主题：投影物镜 光刻 光焦度 照明系统 像差
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
邢廷文
供职机构：中国科学院光电技术研究所
研究主题：面形 数值孔径 光刻 光焦度 投影物镜
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张海波
供职机构：中国科学院光电技术研究所
研究主题：照明系统 光焦度 偏振 光轴 光刻技术
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
甘大春
供职机构：中国科学院光电技术研究所
研究主题：照明系统 补偿装置 光束控制 均匀性 入射
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
何毅
供职机构：中国科学院光电技术研究所
研究主题：视场 照明系统 光焦度 补偿装置 均匀性
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
邢莎莎
供职机构：中国科学院光电技术研究所
研究主题：测量方法 透过率 光刻 照明 照明模式
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
卢亮
供职机构：中国科学院光电技术研究所
研究主题：照明系统 补偿装置 均匀性 掩模 光刻
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
范真节
供职机构：中国科学院光电技术研究所
研究主题：偏振 光刻技术 波片 视场 光学系统设计
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
刘卫静
供职机构：中国科学院光电技术研究所
研究主题：光束特性 激光器 光学元件 光强分布 光强
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
邱传凯
供职机构：中国科学院光电技术研究所
研究主题：变形镜 微透镜列阵 掩模 光学系统 静电驱动
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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