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张鸣

作品数：394 被引量：271H指数：9
供职机构：清华大学更多>>
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相关领域：机械工程电子电信自动化与计算机技术文化科学更多>>

合作作者

领域

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主题

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  • 59个传感
  • 59个传感器
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  • 33个超精密
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机构

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  • 1个北京工业职业...
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资助

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传媒

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  • 8个仪器仪表学报
  • 8个光学技术
  • 8个光子学报
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  • 7个微特电机

地区

  • 97个北京市
  • 8个湖北省
  • 1个江苏省
  • 1个上海市
  • 1个重庆市
  • 1个广东省
共 111 条 记 录，以下是 1-10
朱煜
供职机构：清华大学
研究主题：光刻机 平面电机 工件台 六自由度 气浮轴承
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
尹文生
供职机构：华中科技大学
研究主题：光刻机 六自由度 平面电机 工位 直线电机
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
杨开明
供职机构：清华大学
研究主题：光刻机 平面电机 六自由度 工件台 直线电机
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
徐登峰
供职机构：清华大学
研究主题：光刻机 工位 平面电机 六自由度 基台
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
胡金春
供职机构：清华大学
研究主题：光刻机 六自由度 平面电机 工位 掩模
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
成荣
供职机构：清华大学
研究主题：光刻机 六自由度 工件台 位移测量系统 激光干涉仪
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
汪劲松
供职机构：清华大学
研究主题：光刻机 并联机床 机器人 三自由度 并联机构
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
穆海华
供职机构：清华大学
研究主题：光刻机 六自由度 工件台 音圈电机 掩模
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
段广洪
供职机构：清华大学深圳研究生院
研究主题：光刻机 工位 平面电机 基台 并联机床
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王磊杰
供职机构：清华大学
研究主题：外差 位移测量系统 激光干涉 光刻系统 光栅
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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