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苏亚

作品数：1 被引量：7H指数：1
供职机构：清华大学机械工程学院摩擦学国家重点实验室更多>>
发文基金：国家自然科学基金更多>>
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合作作者

领域

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主题

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  • 1个中国矿业大学...
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资助

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传媒

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地区

  • 3个北京市
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潘国顺
供职机构：清华大学
研究主题：抛光 化学机械抛光 抛光液 去除速率 磨粒
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徐进
供职机构：清华大学
研究主题：单晶硅 冲蚀磨损 化学机械抛光 材料去除机理 抛光液
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
雒建斌
供职机构：清华大学
研究主题：化学机械抛光 润滑 薄膜润滑 抛光液 纳米级
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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