2024年11月6日
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赵楷
作品数:
2
被引量:7
H指数:1
供职机构:
中国科学院研究生院
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发文基金:
国家自然科学基金
国家高技术研究发展计划
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相关领域:
机械工程
自动化与计算机技术
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合作作者
车录锋
中国科学院上海微系统与信息技术...
熊斌
中国科学院上海微系统与信息技术...
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车录锋
供职机构:浙江大学
研究主题:弹性梁 电容式加速度传感器 微机械陀螺 加速度传感器 硅
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熊斌
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:微机械 键合 热电堆 弹性梁 微机械陀螺
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