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李伟
作品数:
12
被引量:11
H指数:2
供职机构:
中国电子科技集团公司第四十五研究所
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发文基金:
国家科技重大专项
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相关领域:
电子电信
自动化与计算机技术
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合作作者
王伟
中国电子科技集团公司第四十五研...
陈威
中国电子科技集团公司第四十五研...
詹阳
中国电子科技集团公司第四十五研...
周国安
中国电子科技集团公司第四十五研...
史霄
中国电子科技集团公司第四十五研...
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王伟
供职机构:中国电子科技集团公司第四十五研究所
研究主题:CMP 化学机械抛光 IC 300MM硅片 SOLIDWORKS
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周国安
供职机构:中国电子科技集团公司第四十五研究所
研究主题:CMP 化学机械平坦化 化学机械抛光 抛光液 抛光垫
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史霄
供职机构:中国电子科技集团公司第四十五研究所
研究主题:化学机械抛光 CMP CMP技术 氮化镓 晶片
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詹阳
供职机构:中国电子科技集团公司第四十五研究所
研究主题:CMP 化学机械平坦化 抛光垫 承载器 ZETA电位
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陈威
供职机构:中国电子科技集团公司第四十五研究所
研究主题:化学机械抛光 CMP 300MM硅片 有限元模型 有限元分析
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张继静
供职机构:中国电子科技集团公司第四十五研究所
研究主题:超声扫描 无损检测 化学机械抛光 超声 半导体设备
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王铮
供职机构:中国电子科技集团公司第四十五研究所
研究主题:CMP技术 氮化镓 化学机械抛光 晶片 抛光工艺
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王东辉
供职机构:中国电子科技集团公司第四十五研究所
研究主题:CMP 化学机械抛光 氮化镓 半导体材料 碳化硅
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徐存良
供职机构:中国电子科技集团公司第四十五研究所
研究主题:CMP 化学机械平坦化 CMP设备 RCA 湿法清洗
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柳滨
供职机构:中国电子科技集团公司第四十五研究所
研究主题:CMP 化学机械抛光 化学机械平坦化 抛光液 半导体材料
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