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李伟

作品数:12 被引量:11H指数:2
供职机构:中国电子科技集团公司第四十五研究所更多>>
发文基金:国家科技重大专项更多>>
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领域

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主题

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机构

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资助

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传媒

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17 条 记 录,以下是 1-10
王伟
供职机构:中国电子科技集团公司第四十五研究所
研究主题:CMP 化学机械抛光 IC 300MM硅片 SOLIDWORKS
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
周国安
供职机构:中国电子科技集团公司第四十五研究所
研究主题:CMP 化学机械平坦化 化学机械抛光 抛光液 抛光垫
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
史霄
供职机构:中国电子科技集团公司第四十五研究所
研究主题:化学机械抛光 CMP CMP技术 氮化镓 晶片
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
詹阳
供职机构:中国电子科技集团公司第四十五研究所
研究主题:CMP 化学机械平坦化 抛光垫 承载器 ZETA电位
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陈威
供职机构:中国电子科技集团公司第四十五研究所
研究主题:化学机械抛光 CMP 300MM硅片 有限元模型 有限元分析
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
张继静
供职机构:中国电子科技集团公司第四十五研究所
研究主题:超声扫描 无损检测 化学机械抛光 超声 半导体设备
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王铮
供职机构:中国电子科技集团公司第四十五研究所
研究主题:CMP技术 氮化镓 化学机械抛光 晶片 抛光工艺
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王东辉
供职机构:中国电子科技集团公司第四十五研究所
研究主题:CMP 化学机械抛光 氮化镓 半导体材料 碳化硅
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
徐存良
供职机构:中国电子科技集团公司第四十五研究所
研究主题:CMP 化学机械平坦化 CMP设备 RCA 湿法清洗
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
柳滨
供职机构:中国电子科技集团公司第四十五研究所
研究主题:CMP 化学机械抛光 化学机械平坦化 抛光液 半导体材料
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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