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闫志瑞

作品数：19 被引量：91H指数：5
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地区

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周旗钢
供职机构：北京有色金属研究总院
研究主题：硅单晶 硅片 300MM硅片 单晶硅 直拉硅单晶
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
库黎明
供职机构：北京有色金属研究总院
研究主题：硅片 抛光 300MM硅片 平整度 硅片表面
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
冯泉林
供职机构：北京有色金属研究总院
研究主题：硅片 300MM硅片 硅片表面 外延片 氧沉淀
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
常青
供职机构：北京有色金属研究总院
研究主题：硅单晶 300MM硅片 硅片 晶体生长 单晶
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
索思卓
供职机构：北京有色金属研究总院
研究主题：抛光 SI 硅片 300MM硅片 平整度
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王继
供职机构：北京有色金属研究总院
研究主题：超大规模集成电路 300MM硅片 硅片 化学机械抛光 表面形貌
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
肖清华
供职机构：北京有色金属研究总院
研究主题：硅片 离子注入 单晶硅 高温退火 硅
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
李耀东
供职机构：北京有色金属研究总院
研究主题：硅片 化学机械抛光 超大规模集成电路 300MM硅片 表面形貌
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
林霖
供职机构：北京有色金属研究总院
研究主题：超大规模集成电路 300MM硅片 硅片 化学机械抛光
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
刘大力
供职机构：北京有色金属研究总院
研究主题：SI 拉速 外延片 SP1 沉积厚度
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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