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吴徽
作品数:
3
被引量:16
H指数:2
供职机构:
清华大学信息科学技术学院微电子学研究所
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发文基金:
“九五”国家科技攻关计划
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相关领域:
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电子电信
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合作作者
刘理天
清华大学信息科学技术学院微电子...
李英慧
吉首大学
温明生
吉首大学
杨景铭
清华大学信息科学技术学院微电子...
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刘理天
供职机构:清华大学
研究主题:MEMS 硅基 压力传感器 硅 微机械
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温明生
供职机构:吉首大学
研究主题:传感器 硅 片式 加速度传感器 硅加速度计
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李英慧
供职机构:吉首大学
研究主题:硅加速度计 数据采集 硅 加速度传感器 片式
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杨景铭
供职机构:清华大学
研究主题:SOI 硅 激光再结晶 再结晶 微加速度传感器
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