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贾辉
作品数:
11
被引量:82
H指数:5
供职机构:
哈尔滨工业大学深圳研究生院
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相关领域:
机械工程
理学
一般工业技术
自动化与计算机技术
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合作作者
姚勇
哈尔滨工业大学深圳研究生院
李福田
中国科学院长春光学精密机械与物...
施伟杰
哈尔滨工业大学深圳研究生院
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姚勇
供职机构:哈尔滨工业大学深圳研究生院
研究主题:空间频率 傅里叶光学 光通信 太赫兹时域光谱 太赫兹
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供职机构
所获资助
研究领域
李福田
供职机构:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
研究主题:真空紫外 紫外 软X射线 单色仪 紫外光谱
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施伟杰
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题:光刻机 投影物镜 成像质量 空间频率 光刻
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