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郑红军
作品数:
27
被引量:31
H指数:4
供职机构:
中国科学院半导体研究所
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发文基金:
国家自然科学基金
北京市科技计划项目
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相关领域:
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合作作者
卜俊鹏
中国科学院半导体研究所
惠峰
中国科学院半导体研究所
朱蓉辉
中国科学院半导体研究所
赵冀
中国科学院半导体研究所
尹玉华
中国科学院半导体研究所
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卜俊鹏
供职机构:中国科学院半导体研究所
研究主题:砷化镓 GAAS 抛光晶片 抛光 亚表面损伤层
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惠峰
供职机构:中国科学院半导体研究所
研究主题:砷化镓 抛光晶片 GAAS SI-GAAS 晶片
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朱蓉辉
供职机构:中国科学院半导体研究所
研究主题:抛光晶片 微缺陷 晶片 GAAS 抛光
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赵冀
供职机构:中国科学院半导体研究所
研究主题:抛光晶片 微缺陷 晶片 GAAS 抛光
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尹玉华
供职机构:中国科学院半导体研究所
研究主题:GAAS 亚表面损伤层 抛光晶片 抛光 砷化镓
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何宏家
供职机构:中国科学院半导体研究所
研究主题:砷化镓 GAAS SI-GAAS 半绝缘 GAAS单晶
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吴让元
供职机构:中国科学院半导体研究所
研究主题:砷化镓 SI-GAAS GAAS 化学机械抛光 抛光
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曾一平
供职机构:中国科学院半导体研究所
研究主题:分子束外延 衬底 碳化硅 氮化镓 缓冲层
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高永亮
供职机构:中国科学院半导体研究所
研究主题:微缺陷 VGF LEC 温控设备 GAAS
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白玉柯
供职机构:中国科学院半导体研究所
研究主题:化学腐蚀 均匀性 GAAS 晶片 磨片
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