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陈刚

作品数：1 被引量：5H指数：1
供职机构：中国科学院上海硅酸盐研究所更多>>
发文基金：国家重点基础研究发展计划更多>>
相关领域：理学一般工业技术机械工程更多>>

合作作者

领域

  • 4个机械工程
  • 4个自动化与计算...
  • 4个一般工业技术
  • 4个理学
  • 2个电子电信
  • 1个生物学

主题

  • 4个氮化
  • 4个氮化硅
  • 4个氮化硅薄膜
  • 4个杨氏模量
  • 4个微电子
  • 4个微电子机械
  • 4个微电子机械系...
  • 4个微机械
  • 4个误差分析
  • 4个力学特性
  • 4个力学性能
  • 4个硅薄膜
  • 4个感器
  • 4个残余应力
  • 4个差分
  • 3个速度传感器
  • 2个电阻
  • 2个压敏电阻
  • 2个压阻
  • 2个压阻式

机构

  • 3个中国科学院
  • 1个复旦大学
  • 1个华东师范大学
  • 1个浙江大学
  • 1个香港理工大学
  • 1个中国科学院上...

资助

  • 4个国家重点基础...
  • 3个国家自然科学...
  • 2个中国科学院知...
  • 1个国家高技术研...
  • 1个上海市科委纳...
  • 1个香港理工大学...
  • 1个国家攀登计划
  • 1个中国科学院重...

传媒

  • 4个机械强度
  • 4个功能材料与器...
  • 3个第八届敏感元...
  • 2个传感器技术
  • 1个分析化学
  • 1个Journa...
  • 1个化学通报
  • 1个光子学报
  • 1个摩擦学学报（...
  • 1个仪表技术与传...
  • 1个应用科学学报
  • 1个上海计量测试
  • 1个传感技术学报
  • 1个激光与红外
  • 1个中国工程科学
  • 1个第11届全国...
  • 1个2000全国...
  • 1个第三届全国敏...
  • 1个第一届长三角...

地区

  • 3个上海市
  • 1个四川省
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王钻开
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：微电子机械系统 微机械 固有频率 微机械加速度传感器 压敏电阻
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
宗登刚
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：残余应力 微机械 杨氏模量 微电子机械系统 加速度传感器
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
陆德仁
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：微机械 加速度传感器 传感器 微机械加速度传感器 微电子机械系统
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王聪和
供职机构：香港理工大学
研究主题：残余应力 微机械 热扩散率 杨氏模量 基底
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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