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阮聪

作品数：5 被引量：1H指数：1
供职机构：清华大学更多>>
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宋亦旭
供职机构：清华大学
研究主题：刻蚀 元胞 微电子加工 机器人 刻蚀工艺
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孙晓民
供职机构：清华大学
研究主题：刻蚀 元胞 微电子加工 OSEK 汽车电子
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杨宏军
供职机构：清华大学
研究主题：微电子加工 元胞 刻蚀 元胞自动机 等离子体刻蚀
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