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张学敏
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中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所
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合作作者
张宝顺
中国科学院苏州纳米技术与纳米仿...
付思齐
中国科学院苏州纳米技术与纳米仿...
俞挺
中国科学院苏州纳米技术与纳米仿...
孙天玉
中国科学院苏州纳米技术与纳米仿...
时文华
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张宝顺
供职机构:中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所
研究主题:二维电子气 电极 HEMT器件 衬底 半导体
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付思齐
供职机构:中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所
研究主题:刻蚀 光刻版 湿法腐蚀 掩膜 掩模
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俞挺
供职机构:中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所
研究主题:键合 晶圆 夹具 单片 电镀
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孙天玉
供职机构:中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所
研究主题:湿法腐蚀 掩模 晶向 微反射镜 图案
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时文华
供职机构:中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所
研究主题:刻蚀 掩膜 光刻版 刻蚀工艺 硅刻蚀
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王逸群
供职机构:中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所
研究主题:表面等离激元 键合 激光器 电子束 原子
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林文魁
供职机构:中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所
研究主题:电极 压电层 磁电 薄膜体声波谐振器 天线
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曾中明
供职机构:中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所
研究主题:磁性隧道结 电极 自旋 磁性层 隧道结
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于国浩
供职机构:中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所
研究主题:二维电子气 HEMT器件 氮化物 增强型 半导体表面
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邢政
供职机构:中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所
研究主题:薄膜太阳能电池 光电器件 太阳能电池 掩模 光电转换效率
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