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李月珍

作品数：2 被引量：0H指数：0
供职机构：中国科学院上海冶金研究所上海微系统与信息技术研究所更多>>

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  • 2个上海市
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谭淞生
供职机构：中国科学院上海冶金研究所上海微系统与信息技术研究所
研究主题：硅 硅片 齿轮 微齿轮 金刚石薄膜
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
朱建生
供职机构：中国科学院上海冶金研究所上海微系统与信息技术研究所
研究主题：氧含量 红外仪器 硅片 滤光片 直拉硅单晶
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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