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荣刚

作品数：3 被引量：0H指数：0
供职机构：中国科学院上海冶金研究所上海微系统与信息技术研究所更多>>

合作作者

领域

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  • 1个一般工业技术
  • 1个理学

主题

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机构

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  • 1个国家高技术研...
  • 1个国家重点基础...
  • 1个国家自然科学...
  • 1个上海市科委纳...
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传媒

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地区

  • 2个上海市
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朱文玉
供职机构：中国科学院上海冶金研究所上海微系统与信息技术研究所
研究主题：离子注入 BF 硅 薄膜应力 应力和
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
陆德仁
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：微机械 加速度传感器 传感器 微机械加速度传感器 微电子机械系统
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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