您的位置: 专家智库 > >

领域

  • 6个电子电信
  • 5个理学
  • 4个金属学及工艺
  • 4个机械工程
  • 3个一般工业技术
  • 2个化学工程
  • 2个电气工程
  • 2个自动化与计算...
  • 2个建筑科学
  • 2个交通运输工程
  • 2个环境科学与工...
  • 2个文化科学
  • 1个经济管理
  • 1个天文地球
  • 1个轻工技术与工...
  • 1个核科学技术
  • 1个医药卫生

主题

  • 5个掩模
  • 5个湿法腐蚀
  • 5个图案
  • 4个电子束曝光
  • 4个掩膜
  • 4个衍射
  • 3个单次
  • 3个氮化硅
  • 3个氮化硅薄膜
  • 3个等离子体
  • 2个单波长
  • 2个单晶
  • 2个单晶硅
  • 2个单片
  • 2个氮化
  • 2个氮化铝
  • 2个氮化镓
  • 2个导电
  • 2个等离激元
  • 2个等离子处理

机构

  • 7个中国科学院
  • 2个长春理工大学

资助

  • 3个国家自然科学...
  • 3个苏州市科技发...
  • 2个北京市自然科...
  • 2个国家重点基础...
  • 2个中国科学院知...
  • 1个国防科技重点...
  • 1个国家高技术研...
  • 1个吉林省自然科...
  • 1个江苏省自然科...
  • 1个清华大学基础...
  • 1个中国博士后科...
  • 1个国家杰出青年...
  • 1个江苏省科技支...
  • 1个高功率半导体...
  • 1个国家电网公司...
  • 1个国家重点实验...
  • 1个江苏省博士后...
  • 1个江苏省基础研...
  • 1个江苏省科技计...
  • 1个教育部“新世...

传媒

  • 3个应用光学
  • 3个半导体光电
  • 3个科学技术与工...
  • 2个光电子.激光
  • 2个光学学报
  • 2个光子学报
  • 2个固体电子学研...
  • 2个微纳电子技术
  • 2个第十三届全国...
  • 2个2013‘全...
  • 1个红外与激光工...
  • 1个量子电子学报
  • 1个稀有金属材料...
  • 1个半导体技术
  • 1个Journa...
  • 1个物理学报
  • 1个光电子技术与...
  • 1个中国科学(A...
  • 1个光学技术
  • 1个中国激光

地区

  • 7个江苏省
7 条 记 录,以下是 1-7
张学敏
供职机构:中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所
研究主题:石墨烯 掩模 晶圆 晶向 微反射镜
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
付思齐
供职机构:中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所
研究主题:刻蚀 光刻版 湿法腐蚀 掩膜 掩模
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
孙天玉
供职机构:中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所
研究主题:湿法腐蚀 掩模 晶向 微反射镜 图案
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
侯克玉
供职机构:中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所
研究主题:MEMS器件 掩膜 光刻胶 光刻版 光刻
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王逸群
供职机构:中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所
研究主题:表面等离激元 键合 激光器 电子束 原子
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
张宝顺
供职机构:中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所
研究主题:二维电子气 电极 HEMT器件 衬底 半导体
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
魏红霞
供职机构:中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所
研究主题:花篮 晶圆清洗 晶圆 清洗液 清洗剂
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
共1页<1>
聚类工具0