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田毅
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供职机构:
国家纳米科学中心
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合作作者
褚卫国
国家纳米科学中心
陈佩佩
国家纳米科学中心
闫兰琴
国家纳米科学中心
胡海峰
国家纳米科学中心
徐丽华
国家纳米科学中心
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褚卫国
供职机构:国家纳米科学中心
研究主题:衬底 高密度等离子体 锂离子电池正极材料 气相沉积 锂
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所获资助
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陈佩佩
供职机构:国家纳米科学中心
研究主题:衬底 电子束曝光 表面增强拉曼 原子力显微镜 硅衬底
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闫兰琴
供职机构:国家纳米科学中心
研究主题:衬底 电子束 表面增强拉曼 光刻胶 高密度等离子体
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胡海峰
供职机构:国家纳米科学中心
研究主题:介质层 定影 电子束 参量 硅衬底
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徐丽华
供职机构:国家纳米科学中心
研究主题:光刻胶 高密度等离子体 旋涂 硅片表面 刻蚀工艺
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宋志伟
供职机构:国家纳米科学中心
研究主题:高密度等离子体 气相沉积 膜材料 不均匀性 反应气体
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董凤良
供职机构:国家纳米科学中心
研究主题:光学读出 非制冷红外成像 偏振片 焦平面阵列 电子束曝光
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张先锋
供职机构:国家纳米科学中心
研究主题:光学性质 石墨烯 衬底 成炭 超厚
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