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冯飞

作品数：118 被引量：48H指数：4
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所更多>>
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王跃林
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：微机械 各向异性腐蚀 硅 制作方法 键合
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
李昕欣
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：悬臂梁 硅 传感器 硅片 压阻
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
熊斌
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：微机械 键合 热电堆 弹性梁 微机械陀螺
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
杨广立
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：微机械 红外探测器阵列 牺牲层 阵列器件 噪声等效温差
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
焦继伟
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：微机械陀螺 制作方法 MEMS 微机电系统 真空封装
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
张云胜
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：真空封装 晶圆 吸气剂 封装芯片 红外
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
李磊
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：无线传感网 无线传感器网络 气相色谱柱 间二甲苯 正辛烷
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
闫许
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：焦平面阵列 液压执行器 红外吸收 红外探测器 光型
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
戈肖鸿
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：硅 微机械 互连 多晶硅 各向异性腐蚀
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
朱慧慧
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：非致冷红外探测器 红外探测器阵列 电路噪声 非制冷红外焦平面阵列 二极管
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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