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王大平
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11
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供职机构:
中国电子科技集团第二十四研究所
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发文基金:
国家重点基础研究发展计划
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相关领域:
电子电信
金属学及工艺
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合作作者
吴建
中国电子科技集团第二十四研究所
梁涛
中国电子科技集团第二十四研究所
冯建
中国电子科技集团第二十四研究所
王斌
中国电子科技集团第二十四研究所
唐昭焕
中国电子科技集团公司第二十四研...
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吴建
供职机构:中国电子科技集团第二十四研究所
研究主题:多晶硅 氧化层 牺牲层 微电子机械系统 淀积
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梁涛
供职机构:中国电子科技集团第二十四研究所
研究主题:半导体工艺 掺杂 硅片表面 镜检 硫酸铈
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冯建
供职机构:中国电子科技集团第二十四研究所
研究主题:多晶硅 SOI 键合 氧化层 硅片
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王守祥
供职机构:中国电子科技集团第二十四研究所
研究主题:硅渣 工艺波动 刻蚀设备 镜检 等离子体刻蚀
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王斌
供职机构:中国电子科技集团第二十四研究所
研究主题:VDMOS器件 VDMOS 半导体工艺 抗辐射加固 牺牲层
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唐昭焕
供职机构:中国电子科技集团第二十四研究所
研究主题:半导体 深槽 功率VDMOS器件 功率MOSFET器件 导电类型
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谭开洲
供职机构:中国电子科技集团第二十四研究所
研究主题:半导体 深槽 VDMOS SIGE 半导体器件
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张正元
供职机构:中国电子科技集团第二十四研究所
研究主题:微电子机械系统 硅薄膜 多晶硅 电路 键合
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朱煜开
供职机构:中国电子科技集团第二十四研究所
研究主题:单芯片 夹具 金属工艺 氧化物 欧姆接触
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陈俊
供职机构:中国电子科技集团第二十四研究所
研究主题:SOI 半导体集成电路 恒定跨导 集成电路 化学机械抛光
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