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金钦华

作品数：8 被引量：3H指数：1
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所更多>>
发文基金：国家重点基础研究发展计划更多>>
相关领域：一般工业技术机械工程理学更多>>

合作作者

领域

  • 6个电子电信
  • 6个一般工业技术
  • 4个化学工程
  • 4个金属学及工艺
  • 4个机械工程
  • 4个自动化与计算...
  • 4个理学
  • 3个电气工程
  • 3个文化科学
  • 2个建筑科学
  • 2个交通运输工程
  • 2个航空宇航科学...
  • 2个环境科学与工...
  • 2个医药卫生
  • 1个经济管理
  • 1个生物学
  • 1个轻工技术与工...
  • 1个核科学技术

主题

  • 7个纳米
  • 6个碳纳米管
  • 5个单晶
  • 5个单晶硅
  • 4个电容式
  • 4个掩膜
  • 4个氧化硅
  • 4个针尖
  • 4个湿法腐蚀
  • 4个速度传感器
  • 4个探针
  • 3个大线
  • 3个电容式加速度...
  • 3个对准标记
  • 3个掩膜版
  • 3个特征尺寸
  • 3个偶对
  • 3个偏转
  • 3个偏转角
  • 3个平面型

机构

  • 7个中国科学院
  • 3个中科院上海微...
  • 2个上海交通大学
  • 2个浙江大学
  • 2个中国科学院研...
  • 2个中国科学院上...
  • 1个复旦大学
  • 1个哈尔滨工业大...
  • 1个国防科学技术...
  • 1个苏州大学
  • 1个华中理工大学
  • 1个中国航天员科...
  • 1个沈阳仪器仪表...

资助

  • 5个国家重点基础...
  • 4个国家自然科学...
  • 4个国家重点实验...
  • 3个国家高技术研...
  • 3个国家科技重大...
  • 3个上海市教育委...
  • 3个中国科学院知...
  • 2个高等学校骨干...
  • 2个上海市科委纳...
  • 2个中国博士后科...
  • 2个国家杰出青年...
  • 2个上海市高校选...
  • 2个“上海－应用...
  • 2个国际科技合作...
  • 2个上海-AM基...
  • 2个上海市教育委...
  • 1个The Ro...
  • 1个福建省自然科...
  • 1个国家科技支撑...
  • 1个江苏省自然科...

传媒

  • 4个中国科学（E...
  • 4个传感技术学报
  • 4个微纳电子技术
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  • 3个半导体技术
  • 3个Journa...
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  • 3个电子器件
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  • 3个纳米技术与精...
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  • 3个第八届敏感元...
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  • 2个高等学校化学...
  • 2个科学通报

地区

  • 7个上海市
共 7 条 记 录，以下是 1-7
李铁
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：硅纳米线 各向异性腐蚀 石墨烯 气体传感器 纳米
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王跃林
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：微机械 各向异性腐蚀 硅 制作方法 硅片
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
俞骁
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：各向异性腐蚀 单晶硅 硅片表面 纳米 硅片
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
饶伏波
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：单壁碳纳米管 性能研究 含碳 化学气相沉积法 单壁
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
张志祥
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：镍 含碳 化学气相沉积法 微悬臂梁传感器 单壁碳纳米管
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
李昕欣
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：悬臂梁 传感器 硅 硅片 压阻
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
许钫钫
供职机构：中国科学院上海硅酸盐研究所
研究主题：透射电镜 电极 电场 陶瓷 化学组成
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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