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马竞

作品数：12 被引量：3H指数：1
供职机构：清华大学更多>>
发文基金：国家重点实验室开放基金国家重点基础研究发展计划更多>>
相关领域：电子电信金属学及工艺自动化与计算机技术更多>>

合作作者

领域

  • 21个电子电信
  • 17个自动化与计算...
  • 15个一般工业技术
  • 15个文化科学
  • 15个理学
  • 14个电气工程
  • 13个机械工程
  • 11个金属学及工艺
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  • 5个交通运输工程
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  • 4个自然科学总论
  • 3个建筑科学
  • 3个航空宇航科学...
  • 3个环境科学与工...
  • 2个水利工程

主题

  • 19个光刻
  • 19个光刻机
  • 16个大行程
  • 16个导轨
  • 15个电机
  • 15个掩模
  • 15个永磁
  • 13个电路
  • 13个元器件
  • 12个叠层
  • 11个电动机
  • 10个弹簧
  • 10个电磁
  • 10个电机线圈
  • 10个电流
  • 10个定子
  • 9个带结构
  • 9个叠层结构
  • 8个单自由度
  • 8个电磁力

机构

  • 19个清华大学
  • 2个电子科技大学
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  • 2个上海交通大学
  • 2个中国科学院
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  • 1个北京工业职业...
  • 1个德克萨斯理工...
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  • 1个南京理工大学
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  • 1个华东交通大学
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  • 1个华中理工大学
  • 1个中国科学院生...
  • 1个北京机床研究...

资助

  • 15个国家自然科学...
  • 14个国家重点基础...
  • 10个中国博士后科...
  • 8个国家高技术研...
  • 8个国家科技重大...
  • 6个北京市自然科...
  • 6个国家重点实验...
  • 5个国家教育部博...
  • 4个国家科技支撑...
  • 3个光电技术及系...
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  • 3个面向21世纪...
  • 3个中国科学院知...
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传媒

  • 10个清华大学学报...
  • 9个机械工程学报
  • 7个机床与液压
  • 7个电工技术学报
  • 7个中国电机工程...
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  • 6个中国机械工程
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  • 5个科学技术与工...
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  • 4个半导体技术
  • 4个仪器仪表学报
  • 4个机械强度
  • 4个振动与冲击
  • 4个润滑与密封
  • 4个微电机
  • 4个工具技术

地区

  • 18个北京市
  • 1个湖北省
  • 1个江苏省
  • 1个广东省
共 21 条 记 录，以下是 1-10
朱煜
供职机构：清华大学
研究主题：光刻机 平面电机 工件台 六自由度 气浮轴承
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
张鸣
供职机构：清华大学
研究主题：光刻机 六自由度 平面电机 工件台 位移测量系统
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
胡金春
供职机构：清华大学
研究主题：光刻机 六自由度 平面电机 工位 掩模
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
徐登峰
供职机构：清华大学
研究主题：光刻机 工位 平面电机 六自由度 基台
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
杨开明
供职机构：清华大学
研究主题：光刻机 平面电机 六自由度 工件台 直线电机
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
汪劲松
供职机构：清华大学
研究主题：光刻机 并联机床 机器人 三自由度 并联机构
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
尹文生
供职机构：华中科技大学
研究主题：光刻机 六自由度 平面电机 工位 直线电机
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
张利
供职机构：清华大学
研究主题：光刻机 六自由度 掩膜 大行程 套刻精度
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
段广洪
供职机构：清华大学深圳研究生院
研究主题：光刻机 工位 平面电机 基台 并联机床
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
许岩
供职机构：清华大学
研究主题：光刻机 掩模 基台 光学透镜 模版
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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