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廖哲勋
作品数:
8
被引量:5
H指数:2
供职机构:
上海交通大学
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发文基金:
国家自然科学基金
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相关领域:
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合作作者
李以贵
上海应用技术学院理学院
朱军
上海交通大学微纳米科学技术研究...
罗晨晨
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罗江波
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胡锦洋
上海交通大学
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李以贵
供职机构:上海应用技术学院理学院
研究主题:微细加工技术 微针 压电 MEMS 微机电系统技术
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朱军
供职机构:上海交通大学
研究主题:微针 MEMS 微电子机械系统 SU-8胶 光刻胶
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罗江波
供职机构:上海交通大学
研究主题:TSV 硅基 子层 复合介质 高深宽比
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罗晨晨
供职机构:上海交通大学
研究主题:方腔 反应离子刻蚀 反应离子 麦克风 微细加工工艺
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胡锦洋
供职机构:上海交通大学
研究主题:方腔 反应离子刻蚀 反应离子 模数转换器 麦克风
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陈丹丹
供职机构:上海交通大学
研究主题:空调系统 冷水机组 优化控制 负荷优化分配 COP
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