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钟少龙
作品数:
40
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H指数:5
供职机构:
中国科学院上海微系统与信息技术研究所
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国家重大科学仪器设备开发专项
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吴亚明
中国科学院上海微系统与信息技术...
徐静
中国科学院上海微系统与信息技术...
龙亮
中国科学院研究生院
杨丹琼
中国科学院研究生院
雷振山
唐山学院唐山市机电一体化重点实...
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吴亚明
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:MEMS 微机电系统 光开关 光纤准直器 微电子机械系统
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徐静
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:MEMS 微电子机械系统 微机电系统 光学电流传感器 加速度传感器
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龙亮
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:磁性薄膜 键合 磁场传感器 基底 闪耀光栅
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杨丹琼
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:差分 弹性梁 加速度传感器 电极 加速度计
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郭智慧
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:键合 长形 波长可调谐 半导体 高反膜
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雷振山
供职机构:唐山学院
研究主题:虚拟仪器 LABVIEW 基于虚拟仪器 嵌入式系统 机器视觉
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翟雷应
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:MEMS 微光机电系统 静电驱动 微机电系统 大尺寸
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李四华
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:驱动器 微机电系统 MEMS 苯并环丁烯 体硅工艺
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杨恒
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:硅 纳米 各向异性腐蚀 微机械 压阻
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赵晨光
供职机构:唐山学院
研究主题:复杂可编程逻辑器件 敷设 关联维数 监测装置 激光电源
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