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刘文俊

作品数：3 被引量：1H指数：1
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所更多>>
相关领域：电子电信更多>>

合作作者

领域

  • 8个电子电信
  • 6个自动化与计算...
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  • 1个一般工业技术
  • 1个文化科学

主题

  • 7个电磁式
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  • 7个硅基薄膜
  • 7个MEMS
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  • 4个真空封装
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  • 4个陀螺
  • 4个微机械陀螺
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  • 3个低噪
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机构

  • 7个中国科学院
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资助

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  • 2个国家重点基础...
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传媒

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  • 1个无机盐工业
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  • 1个测试技术学报
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地区

  • 7个上海市
  • 1个北京市
共 8 条 记 录，以下是 1-8
颜培力
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：MEMS器件 保护环 孤岛 基板 扩展性
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
焦继伟
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：微机械陀螺 制作方法 MEMS 微机电系统 真空封装
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王敏昌
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：角速度传感器 真空封装 基板 电极 致密性
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
宓斌玮
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：真空封装 微机械陀螺 悬臂梁 块结构 MEMS器件
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
宓斌伟
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术联合国家重点实验室
研究主题：MEMS 硅基薄膜 硅基 谐振器 自补偿
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
秦嵩
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：MEMS 硅基薄膜 硅基 电磁式 残余应力
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
张颖
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：微机械陀螺 微机械加工 固有频率 摄动法 统计分析
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
张铁军
供职机构：中国人民解放军总参谋部
研究主题：MEMS 硅基薄膜 硅基 电磁式 GJB
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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