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刘文俊
作品数:
3
被引量:1
H指数:1
供职机构:
中国科学院上海微系统与信息技术研究所
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相关领域:
电子电信
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合作作者
王敏昌
中国科学院大学
颜培力
中国科学院上海微系统与信息技术...
焦继伟
中国科学院上海微系统与信息技术...
宓斌玮
中国科学院上海微系统与信息技术...
张铁军
中国人民解放军总参谋部
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颜培力
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:MEMS器件 保护环 孤岛 基板 扩展性
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所获资助
研究领域
焦继伟
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:微机械陀螺 制作方法 MEMS 微机电系统 真空封装
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王敏昌
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:角速度传感器 真空封装 基板 电极 致密性
发表作品
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供职机构
所获资助
研究领域
宓斌玮
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:真空封装 微机械陀螺 悬臂梁 块结构 MEMS器件
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供职机构
所获资助
研究领域
宓斌伟
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术联合国家重点实验室
研究主题:MEMS 硅基薄膜 硅基 谐振器 自补偿
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秦嵩
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:MEMS 硅基薄膜 硅基 电磁式 残余应力
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供职机构
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张颖
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:微机械陀螺 微机械加工 固有频率 摄动法 统计分析
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供职机构
所获资助
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张铁军
供职机构:中国人民解放军总参谋部
研究主题:MEMS 硅基薄膜 硅基 电磁式 GJB
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