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汪飞
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3
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H指数:2
供职机构:
中国科学院上海微系统与信息技术研究所
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发文基金:
国家重点基础研究发展计划
国家自然科学基金
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相关领域:
自动化与计算机技术
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合作作者
李昕欣
中国科学院上海微系统与信息技术...
郭南翔
中国科学院上海微系统与信息技术...
封松林
中国科学院上海微系统与信息技术...
蒋珂玮
中国科学院上海微系统与信息技术...
程融
中国科学院上海微系统与信息技术...
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李昕欣
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:悬臂梁 传感器 硅 硅片 压阻
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郭南翔
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:微机械 悬臂梁 MEMS 压阻式加速度传感器 振动频率
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蒋珂玮
供职机构:华东师范大学
研究主题:操控 传感器 纳米氧化锌 相对湿度 MEMS
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相关人物
供职机构
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程融
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:MEMS 微电子产业 半导体器件 焊料 接触面积
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所获资助
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封松林
供职机构:中国科学院上海高等研究院
研究主题:相变存储器 相变材料 相变 电阻 存储器
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