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李恒

作品数：6 被引量：36H指数：4
供职机构：清华大学机械工程学院精密仪器与机械学系更多>>
发文基金：国家重点基础研究发展计划国家自然科学基金更多>>
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合作作者

领域

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机构

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资助

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传媒

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地区

  • 11个北京市
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共 12 条 记 录，以下是 1-10
朱煜
供职机构：清华大学
研究主题：光刻机 平面电机 工件台 六自由度 气浮轴承
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
贾松涛
供职机构：清华大学
研究主题：光刻机 工位 微动工作台 精密工作台 气浮
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
武晨光
供职机构：清华大学
研究主题：WEB 超精密 微动工作台 电磁式 电磁驱动
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
尹文生
供职机构：华中科技大学
研究主题：光刻机 六自由度 平面电机 工位 直线电机
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
杨开明
供职机构：清华大学
研究主题：光刻机 平面电机 六自由度 工件台 直线电机
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
张鸣
供职机构：清华大学
研究主题：光刻机 六自由度 平面电机 工件台 位移测量系统
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
黄利平
供职机构：清华大学机械工程学院机械工程系
研究主题：产品数据管理 PDM 仪器测试 并行工程 工程图学
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
张松
供职机构：清华大学
研究主题：微片激光器 干涉仪 微片 陶瓷烧制 分光镜
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
陆冠玉
供职机构：清华大学机械工程学院精密仪器与机械学系
研究主题：综合性能 自动加载 乳化液泵 MCS51 RS232
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
聂洪玮
供职机构：清华大学机械工程学院精密仪器与机械学系
研究主题：运动轨迹规划
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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