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王新

作品数：1 被引量：1H指数：1
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  • 5个电子电信
  • 1个机械工程

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  • 5个抛光
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  • 5个北京市
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刘红艳
供职机构：北京有色金属研究总院
研究主题：硅片 HF RCA清洗 硅片清洗 声波
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刘斌
供职机构：北京有色金属研究总院
研究主题：氧沉淀 微缺陷 多晶硅 CZ硅单晶 氩
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
郑琪
供职机构：北京有色金属研究总院
研究主题：大尺寸 CMP 硅片 机械抛光 化学机械抛光
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
库黎明
供职机构：北京有色金属研究总院
研究主题：硅片 抛光 300MM硅片 平整度 硅片表面
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
李耀东
供职机构：北京有色金属研究总院
研究主题：硅片 化学机械抛光 超大规模集成电路 300MM硅片 表面形貌
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