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邱勤

作品数：1 被引量：3H指数：1
供职机构：中国电子科技集团公司第四十五研究所更多>>
相关领域：电子电信更多>>

合作作者

领域

  • 3个电子电信
  • 2个自动化与计算...
  • 2个建筑科学
  • 1个机械工程
  • 1个一般工业技术
  • 1个理学

主题

  • 3个单点
  • 3个修整器
  • 3个原子力显微镜
  • 3个扫描电子显微...
  • 3个铜布线
  • 3个抛光
  • 3个抛光垫
  • 3个抛光液
  • 3个平坦化
  • 2个多线切割机
  • 2个压力控制
  • 1个氮化镓
  • 1个弹流
  • 1个弹流润滑
  • 1个刀体
  • 1个倒角
  • 1个倒角机
  • 1个导轨
  • 1个低K材料
  • 1个低温共烧陶瓷

机构

  • 3个中国电子科技...
  • 1个北京信息科技...
  • 1个电子工业部
  • 1个中华人民共和...
  • 1个中国电子科技...

资助

  • 3个北京市教育委...
  • 1个国家自然科学...
  • 1个中国博士后科...
  • 1个国家科技重大...
  • 1个电子信息产业...
  • 1个中央高校基本...

传媒

  • 3个半导体技术
  • 3个电子工业专用...
  • 3个微细加工技术
  • 3个微纳电子技术
  • 1个制造业自动化
  • 1个机械工程学报
  • 1个集成电路应用
  • 1个动力学与控制...
共 3 条 记 录，以下是 1-3
王学军
供职机构：中国电子科技集团公司第四十五研究所
研究主题：化学机械抛光 CMP 化学机械平坦化 光学 抛光液
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
周国安
供职机构：中国电子科技集团公司第四十五研究所
研究主题：CMP 化学机械平坦化 化学机械抛光 抛光液 抛光垫
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
柳滨
供职机构：中国电子科技集团公司第四十五研究所
研究主题：CMP 化学机械抛光 化学机械平坦化 抛光液 半导体材料
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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