2024年8月31日
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顾慧
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东南大学电子科学与工程学院微电子机械系统教育部重点实验室
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发文基金:
国家高技术研究发展计划
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相关领域:
电子电信
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合作作者
黄见秋
东南大学电子科学与工程学院微电...
秦明
东南大学电子科学与工程学院微电...
李俊伍
东南大学电子科学与工程学院微电...
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黄见秋
供职机构:东南大学
研究主题:湿度传感器 电容式湿度传感器 MEMS 栅氧化层 电容式
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供职机构
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秦明
供职机构:东南大学
研究主题:风速风向传感器 MEMS 风速传感器 微机械 风速风向
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李俊伍
供职机构:东南大学电子科学与工程学院微电子机械系统教育部重点实验室
研究主题:MEMS器件 AU 铟 凸点 倒装焊
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