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谢铮

作品数：1 被引量：5H指数：1
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所更多>>
发文基金：国家自然科学基金更多>>
相关领域：自动化与计算机技术更多>>

合作作者

领域

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主题

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机构

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地区

  • 4个上海市
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共 5 条 记 录，以下是 1-5
车录锋
供职机构：浙江大学
研究主题：弹性梁 电容式加速度传感器 微机械陀螺 加速度传感器 硅
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王俊杰
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：静电 MEMS加速度传感器 检测电路 高Q值 微陀螺
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
李玉芳
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：电容式加速度传感器 检波电路 硅 键合 太阳电池阵列
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王跃林
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：微机械 各向异性腐蚀 硅 制作方法 键合
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
熊斌
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：微机械 键合 热电堆 弹性梁 微机械陀螺
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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