2024年8月31日
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陈迪
作品数:
2
被引量:11
H指数:2
供职机构:
上海交通大学微纳米科学技术研究院微米纳米加工技术国家级重点实验室
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发文基金:
国家重点实验室开放基金
上海市科委纳米专项基金
国家高技术研究发展计划
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相关领域:
一般工业技术
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合作作者
刘景全
上海交通大学微纳米科学技术研究...
张金娅
上海交通大学微纳米科学技术研究...
朱军
上海交通大学微纳米科学技术研究...
石磊
上海交通大学微纳米科学技术研究...
顾盼
上海交通大学微纳米科学技术研究...
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刘景全
供职机构:上海交通大学
研究主题:电极 压电 MEMS 微机电系统 微针
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孙洪文
供职机构:河海大学物联网工程学院
研究主题:纳米压印 母板 纳米图案 微机电系统 微电子工艺
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石磊
供职机构:上海交通大学微纳米科学技术研究院薄膜与微细技术教育部重点实验室
研究主题:光刻 结构性能
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顾盼
供职机构:上海交通大学微纳米科学技术研究院微米纳米加工技术国家级重点实验室
研究主题:醇酯 PETG 热压印 塑料 旋涂
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研究领域
张金娅
供职机构:上海交通大学微纳米科学技术研究院薄膜与微细技术教育部重点实验室
研究主题:光刻 结构性能
发表作品
相关人物
供职机构
所获资助
研究领域
朱军
供职机构:上海交通大学微纳米科学技术研究院薄膜与微细技术教育部重点实验室
研究主题:光刻 结构性能
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