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陈迪

作品数：2 被引量：11H指数：2
供职机构：上海交通大学微纳米科学技术研究院微米纳米加工技术国家级重点实验室更多>>
发文基金：国家重点实验室开放基金上海市科委纳米专项基金国家高技术研究发展计划更多>>
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合作作者

领域

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  • 1个建筑科学
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  • 1个医药卫生
  • 1个农业科学
  • 1个文化科学

主题

  • 5个光刻
  • 4个结构性能
  • 3个旋涂
  • 3个塑料
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机构

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  • 1个麦吉尔大学
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资助

  • 5个国家重点实验...
  • 3个国家高技术研...
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传媒

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  • 1个微电机
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地区

  • 5个上海市
共 6 条 记 录，以下是 1-6
刘景全
供职机构：上海交通大学
研究主题：电极 压电 MEMS 微机电系统 微针
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
孙洪文
供职机构：河海大学物联网工程学院
研究主题：纳米压印 母板 纳米图案 微机电系统 微电子工艺
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
石磊
供职机构：上海交通大学微纳米科学技术研究院薄膜与微细技术教育部重点实验室
研究主题：光刻 结构性能
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
顾盼
供职机构：上海交通大学微纳米科学技术研究院微米纳米加工技术国家级重点实验室
研究主题：醇酯 PETG 热压印 塑料 旋涂
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
张金娅
供职机构：上海交通大学微纳米科学技术研究院薄膜与微细技术教育部重点实验室
研究主题：光刻 结构性能
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
朱军
供职机构：上海交通大学微纳米科学技术研究院薄膜与微细技术教育部重点实验室
研究主题：光刻 结构性能
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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