您的位置： 专家智库 > >

张燕

作品数：6 被引量：11H指数：3
供职机构：河北工业大学电子信息工程学院更多>>
发文基金：国家中长期科技发展规划重大专项河北省教育厅科研基金河北省教育厅项目更多>>
相关领域：电子电信更多>>

合作作者

领域

  • 12个电子电信
  • 9个金属学及工艺
  • 7个化学工程
  • 7个理学
  • 6个环境科学与工...
  • 6个一般工业技术
  • 4个电气工程
  • 4个自动化与计算...
  • 4个文化科学
  • 3个经济管理
  • 2个哲学宗教
  • 2个机械工程
  • 2个建筑科学
  • 2个交通运输工程
  • 1个冶金工程
  • 1个动力工程及工...
  • 1个轻工技术与工...
  • 1个社会学
  • 1个政治法律
  • 1个自然科学总论

主题

  • 12个平坦化
  • 8个电路
  • 8个氧化剂
  • 7个多胺
  • 7个乙基
  • 6个低K材料
  • 6个低K介质
  • 6个低K介质材料
  • 6个电化学
  • 6个电偶
  • 6个电偶腐蚀
  • 6个碟形
  • 6个研磨液
  • 5个单晶
  • 5个抑菌
  • 4个单晶片
  • 4个电池
  • 4个电化学过程
  • 4个电极
  • 4个电器件

机构

  • 12个河北工业大学
  • 1个河北工学院
  • 1个天津大学
  • 1个天津理工大学
  • 1个中国电子科技...
  • 1个中国人民解放...
  • 1个中国人民政治...
  • 1个杭州西湖房地...

资助

  • 12个国家中长期科...
  • 11个河北省自然科...
  • 10个河北省教育厅...
  • 9个国家科技重大...
  • 7个国家自然科学...
  • 7个天津市自然科...
  • 5个国家教育部博...
  • 5个河北省高等学...
  • 4个河北省教育厅...
  • 4个天津市重大科...
  • 3个博士后科研启...
  • 3个河北省科技计...
  • 3个天津市科技攻...
  • 2个新疆维吾尔自...
  • 2个博士科研启动...
  • 2个河北省教育厅...
  • 2个教育部重点实...
  • 2个天津市重点学...
  • 1个国家科技型中...
  • 1个河北省普通高...

传媒

  • 12个微纳电子技术
  • 9个半导体技术
  • 9个功能材料
  • 7个电镀与涂饰
  • 6个稀有金属
  • 6个河北工业大学...
  • 6个微电子学
  • 5个Journa...
  • 5个人工晶体学报
  • 4个天津科技
  • 4个表面技术
  • 4个微细加工技术
  • 4个第六届中国功...
  • 3个电镀与精饰
  • 3个电子工艺技术
  • 3个硅酸盐学报
  • 3个电子器件
  • 3个电子元件与材...
  • 3个纳米技术与精...
  • 3个电子设计工程

地区

  • 10个天津市
  • 2个河北省
共 12 条 记 录，以下是 1-10
王辰伟
供职机构：河北工业大学
研究主题：CMP 阻挡层 抛光液 碱性抛光液 化学机械抛光
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
刘玉岭
供职机构：河北工业大学
研究主题：化学机械抛光 CMP 抛光液 去除速率 ULSI
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
邓海文
供职机构：河北工业大学信息工程学院微电子技术与材料研究所
研究主题：CMP 螯合剂 粗糙度 A/O F
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
闫辰奇
供职机构：河北工业大学电子信息工程学院
研究主题：CMP 化学机械抛光 化学机械平坦化 去除速率 碱性抛光液
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
张金
供职机构：河北工业大学电子信息工程学院
研究主题：CMP 去除速率 化学机械平坦化 化学机械抛光 抛光液
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
檀柏梅
供职机构：河北工业大学
研究主题：化学机械抛光 CMP 抛光液 ULSI 超大规模集成电路
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
秦然
供职机构：河北工业大学
研究主题：粒径 碱性抛光液 布线 CU CMP
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
周建伟
供职机构：河北工业大学
研究主题：CMP 化学机械抛光 硅溶胶 抛光液 硅晶片
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
洪姣
供职机构：河北工业大学
研究主题：CMP BTA 螯合剂 接触角 苯并三氮唑
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
牛新环
供职机构：河北工业大学
研究主题：化学机械抛光 CMP 抛光液 去除速率 碱性抛光液
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
全选 清除 导出
共2页<12>
聚类工具0