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张燕

作品数：6 被引量：11H指数：3
供职机构：河北工业大学电子信息工程学院更多>>
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领域

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地区

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共 12 条 记 录，以下是 1-10
王辰伟
供职机构：河北工业大学
研究主题：CMP 阻挡层 抛光液 碱性抛光液 化学机械抛光
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
刘玉岭
供职机构：河北工业大学
研究主题：化学机械抛光 CMP 抛光液 去除速率 ULSI
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
邓海文
供职机构：河北工业大学信息工程学院微电子技术与材料研究所
研究主题：CMP 螯合剂 粗糙度 A/O F
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
闫辰奇
供职机构：河北工业大学电子信息工程学院
研究主题：CMP 化学机械抛光 化学机械平坦化 去除速率 碱性抛光液
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
张金
供职机构：河北工业大学电子信息工程学院
研究主题：CMP 去除速率 化学机械平坦化 化学机械抛光 抛光液
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
檀柏梅
供职机构：河北工业大学
研究主题：化学机械抛光 CMP 抛光液 ULSI 超大规模集成电路
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
秦然
供职机构：河北工业大学
研究主题：粒径 碱性抛光液 布线 CU CMP
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
周建伟
供职机构：河北工业大学
研究主题：CMP 化学机械抛光 硅溶胶 抛光液 硅晶片
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
洪姣
供职机构：河北工业大学
研究主题：CMP BTA 螯合剂 接触角 TA
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
牛新环
供职机构：河北工业大学
研究主题：化学机械抛光 CMP 抛光液 去除速率 碱性抛光液
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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