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李秀琼
作品数:
12
被引量:8
H指数:2
供职机构:
中国科学院微电子研究所
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发文基金:
国家自然科学基金
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相关领域:
电子电信
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合作作者
杨军
中科院微电子中心研究部北京10...
陈梦真
中国科学院微电子研究所
韩阶平
中国科学院微电子研究所
王纯
中国科学院微电子研究所
陈维德
中国科学院半导体研究所
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韩阶平
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:光刻 光敏聚酰亚胺 集成电路 聚酰亚胺 磁路结构
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陈梦真
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:X射线光刻 光刻 掩模 光刻胶 集成电路
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杨军
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:辉光放电 电子束 掺杂 硼 半导体
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王培大
供职机构:中国科学院半导体研究所
研究主题:离子注入 铒 ER 掺杂 SCC
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王纯
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:掺杂 硼 磷 半导体 集成电路
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刘辉
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:微电子机械系统 HEMT 开关功率放大器 芯片 氮化硅薄膜
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陈维德
供职机构:中国科学院半导体研究所
研究主题:光致发光 GAN 掺铒 GAN薄膜 铒
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海潮和
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:SOI 绝缘体上硅 英文 集成电路 电路
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谢小龙
供职机构:中国科学院半导体研究所
研究主题:表面处理 INP 硫钝化 磷化铟 电子束辐照
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刘训春
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:晶体管 HBT 电子束曝光 INP 英文
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