搜索到 篇“ 光刻分辨力 “的相关文章

相关作者

罗先刚
作品数：687被引量：339H指数：9
供职机构：中国科学院光电技术研究所
研究主题：光刻 超分辨 掩模 表面等离子体 金属
陈旭南
作品数：175被引量：167H指数：7
供职机构：中国科学院光电技术研究所
研究主题：光刻分辨力 原子束 微细图形 光刻 投影光刻物镜
姚汉民
作品数：175被引量：242H指数：8
供职机构：中国科学院光电技术研究所
研究主题：光刻分辨力 投影光刻物镜 原子束 光刻 光子晶体
余国彬
作品数：75被引量：72H指数：5
供职机构：中国科学院光电技术研究所
研究主题：光刻分辨力 相机 投影光刻物镜 深空探测 投影光刻
胡松
作品数：469被引量：445H指数：8
供职机构：中国科学院光电技术研究所
研究主题：光刻机 工件台 光刻 掩模 生物芯片