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作品数：561被引量：33H指数：4
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杨涛
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王辰伟
作品数：117被引量：163H指数：6
供职机构：河北工业大学
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李俊峰
作品数：500被引量：7H指数：2
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：半导体器件 刻蚀 衬底 沟道 栅极