搜索到 篇“ 微机械谐振器 “的相关文章

相关作者

王跃林
作品数：719被引量：789H指数：14
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：微机械 各向异性腐蚀 硅 制作方法 硅片
陈文
作品数：48被引量：73H指数：6
供职机构：武汉大学
研究主题：微机械谐振器 汉坦病毒 谐振器 振子 轮状病毒
徐德辉
作品数：98被引量：22H指数：3
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：微机械 磁场传感器 键合 热电 干法刻蚀
熊斌
作品数：218被引量：194H指数：7
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：微机械 键合 热电堆 弹性梁 微机械陀螺
杨富华
作品数：460被引量：236H指数：7
供职机构：中国科学院半导体研究所
研究主题：淀积 相变存储器 电极 纳米尺寸 相变材料