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一种高精度石英晶体振梁加速度计: 一种高精度石英晶体振梁加速度计，包括底座、表芯及壳体，底座中封装有电路板，表芯通过壳体将表芯封装在底座上；表芯包括均由石英晶体材料制成的质量摆、两个谐振梁、两个圆形阻尼板；质量摆包括两个半圆基座、两个半圆形摆舌及圆形挠性...; 师钰璋南慧杰苗婉茹

基于三轴一体式振梁加速度计的小型化光纤捷联惯导系统: 本发明公开了基于三轴一体式振梁加速度计的小型化光纤捷联惯导系统，包括惯性测量单元和外罩组件，惯性测量单元设置在外罩组件内，惯性测量单元至少用于完成载体惯性运动参量的测量与导航解算，外罩组件至少用于避免外界环境对惯性测量单...; 李建岭程日成杜勇顾逸霏肖跃灵

一体式石英双振梁加速度计及制备方法: 本发明公开了一种一体式石英双振梁加速度计及制备方法，该一体式石英双振梁加速度计包括：一体成型的装配区、挠性梁、振梁、质量块及金属电极，质量块通过挠性梁及振梁连接于装配区；振梁包括第一直梁及第二直梁，第一直梁及第二直梁并列...; 张照云刘显学唐彬李枚彭勃许蔚熊壮苏伟

高灵敏度石英振梁加速度计的设计与研制: 2024年; 石英振梁加速度计因其高精度和高稳定性成为加速度计研究的热点之一。为解决石英振梁加速度计存在标度因数难以提高的问题,提出并研制了一种一体式石英振梁加速度计。介绍了该加速度计的结构模型并展开了理论分析,指出了提高标度因数的可行途径。通过有限元仿真分析确定了加速度计的具体结构,采用湿法刻蚀等工艺制作敏感结构并进行了真空封装。经测试,该加速度计标度因数达到了254.4 Hz/g,零偏稳定性为4.4μg,标度因数稳定性为2.8×10^(-6)。测试结果表明,所提出的一体式石英振梁加速度计具有大标度因数、高稳定性的特点,可应用于高精度的惯导系统。; 林盛受徐承诚梁金星; 关键词：微机电系统谐振振梁加速度计标度因数湿法刻蚀

石英振梁加速度计噪声抑制电路: 本发明公开了一种石英振梁加速度计噪声抑制电路，采用基于斩波‑AGC闭环振荡电路使石英振梁实现稳定驱动，包括：斩波放大器、AGC自动控制增益模块以及后继放大器，振梁振动时产生的电信号经斩波放大器放大并滤除低频噪声后，输出降...; 梁金星胡嘉晖张晗

石英振梁加速度计温度补偿方法研究: 2024年; 针对石英振梁加速度计受工作环境温度变化产生温度漂移的问题,对比分析了基于VCR模型和BP神经网络模型的构建方法,通过数据样本验证了两种补偿算法的可行性。并搭建了加速度计性能测试系统,验证两种补偿方法的补偿效果。实验结果表明,两种补偿模型能显著提升加速度计的温度稳定性,零偏温度系数降低近两个数量级,标度因数温度系数降低了一个数量级。VCR模型温度补偿后,零偏温度系数为14.285μg/℃,标度因数温度系数为-4.2×10^(-6)/℃;BP模型温度补偿后,零偏温度系数为13.326μg/℃,标度因数温度系数为-8.808×10^(-6)/℃,VCR模型在石英振梁加速度计标度因数补偿方面展现出一定的优势。; 李波焦舰董鑫宇李村白冰赵玉龙; 关键词：振梁加速度计温度补偿

一种基于振梁加速度计的高精度二维数字式水平仪: 本发明公开了一种基于振梁加速度计的高精度二维数字式水平仪，包括壳体，所述壳体内部通过固定机构夹持固定有振梁加速度计，所述壳体内固定安装有信号处理模块，所述信号处理模块与振梁加速度计电性连接，所述固定板的侧部通过快拆机构固...; 艾文宇熊海宏艾萌韩继韬程远

基于模拟内插法的振梁加速度计测频方法: 2024年; 针对现有应用于振梁加速度计后端的小型化测频电路的精度不高问题,提出了一种利用模拟器件搭载实现准确测频的模拟内插法,本实验采用FPGA和模拟器件配合完成待测信号的测量和数据流水线式的处理及运算;实验中使用等周期法和模拟内插法分别测量标准信号源的输出、振梁加速度计的输出。实验结果显示,模拟内插测频法明显优于等周期测频法:使用标准信号源做输入时,平均波动对比等周期法的结果由0.63 mHz降至0.012 mHz,稳定精度提升了52.5倍;当测量振梁加速度计的输出时,平均波动对比等周期法的结果由2.5 mHz降至0.98 mHz,稳定精度提升了2.6倍,将系统时钟的频率由22.1184 MHz提升至150 MHz继续进行测试,稳定精度进一步提升了2.7倍,对结果采用递推平均滤波处理后平均波动达到0.11 mHz。基于模拟内插法的振梁加速度计测频方法的实验结果表明,利用硬件来控制计数时间可以提高测频精度,应用于设备或者箭体上均可实现,且在精度上有很大的优化空间。; 张雅宁仇斌王晓东袁文辉张国鹏; 关键词：振梁加速度计

一体式石英双振梁加速度计及制备方法: 本发明的实施例公开了一种一体式石英双振梁加速度计及制备方法，该一体式石英双振梁加速度计包括：一体成型的装配区、挠性梁、振梁、质量块及金属电极，质量块通过挠性梁及振梁连接于装配区；挠性梁的上表面与质量块上表面之间的距离等于...; 张照云唐彬刘显学苏伟高彩云沈朝阳熊壮许蔚彭勃

一种全石英分体式振梁加速度计组装方法: 本发明公开了一种全石英分体式振梁加速度计组装方法，通过键合工艺将均采用非晶体或单晶石英制成的部件结合到一起，各部件之间通过键合工艺形成化学键，这种化学键不会蠕变，连接的部分是相同的材料，那么键合连接的部分之间就不会有热膨...; 南慧杰彭朝晖师钰璋陈凯张利涛

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