搜索到 篇“ ULSI “的相关文章

相关作者

刘玉岭
作品数：481被引量：741H指数：13
供职机构：河北工业大学
研究主题：化学机械抛光 CMP 抛光液 去除速率 ULSI
檀柏梅
作品数：159被引量：321H指数：11
供职机构：河北工业大学
研究主题：化学机械抛光 CMP 抛光液 ULSI 超大规模集成电路
李薇薇
作品数：54被引量：97H指数：6
供职机构：河北工业大学信息工程学院
研究主题：CMP ULSI 超大规模集成电路 化学机械抛光 化学机械全局平面化
刘博
作品数：21被引量：44H指数：4
供职机构：河北工业大学
研究主题：化学机械抛光 ULSI 铜布线 抛光液 压强差
张楷亮
作品数：214被引量：504H指数：13
供职机构：天津理工大学
研究主题：化学机械抛光 抛光液 存储器 叠层结构 抛光速率