-
宁瑾
-

-

- 所属机构:中国科学院半导体研究所
- 所在地区:北京市
- 研究方向:电子电信
- 发文基金:国家自然科学基金
相关作者
- 韩国威

- 作品数:42被引量:46H指数:3
- 供职机构:中国科学院半导体研究所
- 研究主题:锚点 电极 MEMS 压电层 掩膜
- 赵永梅

- 作品数:68被引量:20H指数:3
- 供职机构:中国科学院半导体研究所
- 研究主题:碳化硅 3C-SIC 衬底 刻蚀 碳化硅材料
- 司朝伟

- 作品数:35被引量:42H指数:3
- 供职机构:中国科学院半导体研究所
- 研究主题:锚点 电极 压电层 MEMS 谐振器
- 杨富华

- 作品数:483被引量:252H指数:7
- 供职机构:中国科学院半导体研究所
- 研究主题:淀积 相变存储器 电极 谐振器 纳米尺寸
- 孙国胜

- 作品数:168被引量:54H指数:4
- 供职机构:中国科学院半导体研究所
- 研究主题:碳化硅 3C-SIC 衬底 4H-SIC SIC