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韩国威
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- 所属机构:中国科学院半导体研究所
- 所在地区:北京市
- 研究方向:电子电信
- 发文基金:国家自然科学基金
相关作者
- 宁瑾
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- 作品数:74被引量:69H指数:5
- 供职机构:中国科学院半导体研究所
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- 供职机构:中国科学院半导体研究所
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- 作品数:483被引量:252H指数:7
- 供职机构:中国科学院半导体研究所
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- 作品数:423被引量:1,133H指数:17
- 供职机构:中国科学院半导体研究所
- 研究主题:淀积 相变存储器 纳米尺寸 微装配 刻蚀