董晓文
作品数： 16被引量：14H指数：2
  • 所属机构:中国科学院电工研究所
  • 所在地区:北京市
  • 研究方向:电子电信

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司卫华
作品数：23被引量：15H指数：2
供职机构：清华大学
研究主题：纳米压印 模版 紫外 热压印 反应离子刻蚀
顾文琪
作品数：99被引量：76H指数：4
供职机构：中国科学院电工研究所
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刘泽文
作品数：188被引量：149H指数：6
供职机构：清华大学
研究主题：MEMS 微机械 射频 纳米孔 共面波导
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