司卫华
作品数: 23被引量:15H指数:2
  • 所属机构:清华大学
  • 所在地区:北京市
  • 研究方向:电子电信
  • 发文基金:国家重点基础研究发展计划

相关作者

董晓文
作品数:16被引量:14H指数:2
供职机构:中国科学院电工研究所
研究主题:纳米压印 模版 紫外 热压印 压印
顾文琪
作品数:99被引量:76H指数:4
供职机构:中国科学院电工研究所
研究主题:电子束曝光机 聚焦离子束 液态金属离子源 电子束曝光 图形发生器
刘泽文
作品数:188被引量:149H指数:6
供职机构:清华大学
研究主题:MEMS 微机械 射频 纳米孔 共面波导
尹明
作品数:11被引量:0H指数:0
供职机构:清华大学
研究主题:浮栅 封装 焊球 微加工 射频微机电系统
秦健
作品数:14被引量:9H指数:1
供职机构:清华大学
研究主题:生物医学 MEMS 传统加工方法 衬底材料 衬底