王章涛
所属机构: 中国科学院半导体研究所 所在地区: 北京市 研究方向: 电子电信 发文基金: 国家自然科学基金
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余金中 作品数:296 被引量:532 H指数:11 供职机构:中国科学院半导体研究所 研究主题:SOI 光开关 硅基 波导 多模干涉耦合器 陈少武 作品数:133 被引量:202 H指数:7 供职机构:中国科学院半导体研究所 研究主题:SOI 波导 刻蚀 谐振腔 电光调制器 樊中朝 作品数:69 被引量:104 H指数:5 供职机构:中国科学院半导体研究所 研究主题:刻蚀 干法刻蚀 碳化硅 SOI 多模干涉耦合器 夏金松 作品数:86 被引量:49 H指数:5 供职机构:华中科技大学 研究主题:铌酸锂 SOI 干法刻蚀 脊形波导 波导 李艳萍 作品数:8 被引量:8 H指数:2 供职机构:中国科学院半导体研究所 研究主题:SOI 多模干涉耦合器 波导 光开关 光波导器件
基于脊形光波导的强限制多模干涉耦合器的制作方法 一种基于脊形光波导的强限制多模干涉耦合器的制作方法,其特征在于,采取以下步骤:(1)按器件参数设计好版图后,在需要深刻蚀的区域空隙中添加额外图形,减少需要深刻蚀区域的被刻蚀面积,加大需要深刻蚀区域与需要浅刻蚀区域被刻蚀面... 樊中朝 余金中 陈少武 王章涛 陈媛媛 李艳萍文献传递 Design and Fabrication of Thermo-Optic 4×4 Switching Matrix in Silicon-on-Insulator 被引量:5 2004年 A rearrangeable nonblocking thermo-optic 4×4 switching matrix,which consists of five 2×2 multimode interference-based Mach-Zehnder interferometer(MMI-MZI) switch elements,is designed and fabricated.The minimum and maximum excess loss for the matrix are 6.6 and 10.4dB,respectively.The crosstalk in the matrix is measured to be between -12 and -19.8dB.The switching speed of the matrix is less than 30μs.The power consumption for the single switch element is about 330mW. 王章涛 樊中朝 夏金松 陈少武 余金中关键词:SILICON-ON-INSULATOR 基于脊形光波导的强限制多模干涉耦合器的制作方法 一种基于脊形光波导的强限制多模干涉耦合器的制作方法,其特征在于,采取以下步骤:(1)按器件参数设计好版图后,在需要深刻蚀的区域空隙中添加额外图形,减少需要深刻蚀区域的被刻蚀面积,加大需要深刻蚀区域与需要浅刻蚀区域被刻蚀面... 樊中朝 余金中 陈少武 王章涛 陈媛媛 李艳萍文献传递 紧缩型SOI多模干涉光开关的设计 被引量:1 2003年 提出了一种新的紧缩型SOI多模干涉(MMI)光开关。开关由单模输入输出波导和MMI耦合器组成。通过在多模波导区域引入调制区,利用Si的等离子色散效应(PDE)改变调制区的折射率来实现开关动作。用FD BPM方法对开关的工作原理和性能进行了模拟与分析。结果表明,光开关良好的综合性能,而整个开关的长度只有7mm。 王章涛 余金中关键词:SOI 多模干涉耦合器 SOI光波导和集成波导光开关矩阵 本文报道了基于SOI(Silicon-on-Insulator)材料的光波导和集成波导光开关矩阵的最新研究进展.给出了截面为梯形的脊波导的单模条件,设计制备了基于MMI(Multimode interference)耦合... 陈少武 余金中 刘敬伟 王章涛 夏金松 樊中朝关键词:光开关 开关速度 SOI 光开关矩阵 文献传递 N×N集成光开关阵列模型 被引量:10 2003年 报道了由 2N个 1×N多模干涉马赫 曾德尔光开关组成的N×N光开关阵列结构 ,分析了这种结构的开关阵列优势和局限性 用场传输矩阵方法建立了 1×N多模干涉光开关的光场传输方程 给出了光开关阵列从任一输入端输入、从任一输出端输出时阵列开关的工作条件 在上述原理及理论基础上分析了 4× 王章涛 余金中关键词:多模干涉耦合器 开关阵列 光开关 多模干涉 SOI光波导和集成波导光开关矩阵 2005年 报道了基于SOI(silicon-on-insulator)材料的光波导和集成波导光开关矩阵的最新研究进展.给出了截面为梯形的脊波导的单模条件,设计制备了MMI(multimode interference)集成耦合器和基于Mach-Zehnder光波导干涉仪的热光型2×2光开关,开关转换速度达到了5~8μs,驱动功耗仅为140mW,是当前国际上同类型光开关中转换速度最快的.在此基础上制备成功了4×4波导光开关矩阵,并实现了光信号在不同信道间的转换. 陈少武 余金中 刘敬伟 王章涛 夏金松 樊中朝关键词:SOI材料 单模条件 SOI通道转换型多模干涉耦合器的研究(英文) 被引量:1 2004年 设计和制作了基于SOI的通道转换型多模干涉耦合器。用二维BPM方法分析了耦合器的性能与多模波导宽度和长度的依赖关系 .制作出的耦合器能实现良好的通道转换 ,器件的功率转换比为 73,附加损耗为 2 .2dB .提高器件制作的精度将能进一步改善耦合器的性能 . 王章涛 樊中朝 陈少武 余金中关键词:SOI 多模干涉 SOI光波导器件和集成光开关矩阵的研究进展 被引量:5 2004年 SOI(Silicon-on-insulator, 绝缘衬底上的硅)是一种折射率差大、波导传输损耗小的新型材料, SOI基光电子器件具有与微电子工艺兼容、能够实现OEIC单片集成等优点, 近年来受到越来越多的重视. 文中重点研究了SOI波导器件的新进展, 采用高效数值模拟方法研究得出了精确的SOI矩形和梯形大截面脊形波导的单模条件, 设计和制作了单模脊形光波导、多模干涉耦合器(MMI)、可变光衰减器(VOA)、马赫-曾德尔干涉型22热光波导光开关, 在此基础上首次研制出44和88 SOI平面集成波导光开关矩阵. 余金中 陈少武 夏金松 王章涛 樊中朝 李艳萍 刘敬伟 杨笛 陈媛媛关键词:SOI 光开关矩阵 光波导器件 多模干涉耦合器 脊形波导 单片集成 集成光开关阵列的研究进展 被引量:3 2003年 文中简要介绍了集成光开关阵列的研究进展 ,重点分析了不同材料和不同结构的开关阵列的特点 :绝缘体上的硅 (SOI)和III -V族化合物半导体光开关阵列是阵列开关研究的重点 ,完全无阻塞简化树型和拜尼兹重排无阻塞型阵列开关有良好的综合性能 ,半导体光放大器(SOA)光开关阵列已成为未来阵列开关发展的重要方向之一。 王章涛 余金中关键词:光开关阵列 光联网 密集波分复用 半导体光放大器 光网络