-
程嵩
-
-
- 所属机构:中国科学院微电子研究所
- 所在地区:北京市
- 研究方向:电子电信
- 发文基金:国家自然科学基金
相关作者
- 夏洋
- 作品数：496被引量：47H指数：3
- 供职机构：中国科学院微电子研究所
- 研究主题：原子层沉积 等离子体 氧化锌薄膜 SUB 共掺
- 李楠
- 作品数：129被引量：19H指数：3
- 供职机构：中国科学院微电子研究所
- 研究主题：原子层沉积 启辉 等离子体 电极 半导体制造技术
- 卢维尔
- 作品数：112被引量：25H指数：3
- 供职机构：中国科学院微电子研究所
- 研究主题：原子层沉积 氧化锌薄膜 共掺 受主 掺杂
- 李超波
- 作品数：337被引量：147H指数：7
- 供职机构：中国科学院微电子研究所
- 研究主题：原子层沉积 氧化锌薄膜 离子注入 等离子体 共掺
- 张庆钊
- 作品数：48被引量：26H指数：3
- 供职机构：中国科学院微电子研究所
- 研究主题：启辉 原子层沉积 等离子体 刻蚀工艺 电极
