2024年8月17日
星期六
|
欢迎来到贵州省图书馆•公共文化服务平台
登录
|
注册
|
进入后台
[
APP下载]
[
APP下载]
扫一扫,既下载
全民阅读
职业技能
专家智库
参考咨询
您的位置:
专家智库
>
>
中国工程物理研究院电子工程研究所科技创新基金(S20060201)
作品数:
1
被引量:1
H指数:1
相关作者:
王艳丽
袁明权
张茜梅
彭勃
丁元萍
更多>>
相关机构:
中国工程物理研究院电子工程研究所
更多>>
发文基金:
中国工程物理研究院电子工程研究所科技创新基金
更多>>
相关领域:
自动化与计算机技术
更多>>
相关作品
相关人物
相关机构
相关资助
相关领域
题名
作者
机构
关键词
文摘
任意字段
作者
题名
机构
关键词
文摘
任意字段
在结果中检索
文献类型
1篇
中文期刊文章
领域
1篇
自动化与计算...
主题
1篇
伺服
1篇
伺服控制
1篇
伺服控制器
1篇
速度传感器
1篇
微加速度传感...
1篇
量程
1篇
控制器
1篇
加速度
1篇
加速度传感器
1篇
键合
1篇
键合技术
1篇
感器
1篇
传感
1篇
传感器
机构
1篇
中国工程物理...
作者
1篇
武蕊
1篇
李红
1篇
丁元萍
1篇
彭勃
1篇
张茜梅
1篇
袁明权
1篇
王艳丽
传媒
1篇
信息与电子工...
年份
1篇
2008
共
1
条 记 录,以下是 1-1
全选
清除
导出
排序方式:
相关度排序
被引量排序
时效排序
无粘连键合技术与伺服型±70g微加速度传感器
被引量:1
2008年
为了解决电容极板间隙低至3μm时传感器键合封接后内部活动部件粘连失效的问题,介绍了一种利用去除部分Au层的办法来抑制小间隙键合粘连,通过严控元件表面生产质量,合理地设计伺服控制器,制作的微加速度传感器已经达到了±70g的量程,单边线性二次项系数10-6量级,残差控制在15mg以内,相对精度达到了2×10-4,达到了设计要求。
彭勃
袁明权
丁元萍
李红
武蕊
张茜梅
王艳丽
关键词:
微加速度传感器
伺服控制器
量程
全选
清除
导出
共1页
<
1
>
聚类工具
0
执行
隐藏
清空
用户登录
用户反馈
标题:
*标题长度不超过50
邮箱:
*
反馈意见:
反馈意见字数长度不超过255
验证码:
看不清楚?点击换一张