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中国工程物理研究院电子工程研究所科技创新基金(S20060201)

作品数：1 被引量：1H指数：1
相关作者：王艳丽袁明权张茜梅彭勃丁元萍更多>>
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共 7 条 记 录，以下是 1-7
袁明权
供职机构：中国工程物理研究院电子工程研究所
研究主题：加速度传感器 压敏电阻 微机械加速度传感器 微电子机械系统 固有频率
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
彭勃
供职机构：中国工程物理研究院电子工程研究所
研究主题：加速度计 结构层 掩膜 石英 微加速度计
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
张茜梅
供职机构：中国工程物理研究院电子工程研究所
研究主题：压敏电阻 加速度传感器 微机械加速度传感器 微电子机械系统 键合
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
武蕊
供职机构：中国工程物理研究院电子工程研究所
研究主题：压敏电阻 加速度传感器 微机械加速度传感器 键合 固有频率
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
丁元萍
供职机构：中国工程物理研究院电子工程研究所
研究主题：微加速度开关 ANSYS 牺牲层 聚二甲基硅氧烷 键合技术
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
李红
供职机构：中国工程物理研究院电子工程研究所
研究主题：键合技术 键合 量程 微加速度传感器 伺服控制器
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王艳丽
供职机构：中国工程物理研究院电子工程研究所
研究主题：键合技术 键合 量程 微加速度传感器 伺服控制器
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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