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中国工程物理研究院电子工程研究所科技创新基金(S20060201)
作品数:
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王艳丽
袁明权
张茜梅
彭勃
丁元萍
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中国工程物理研究院电子工程研究所
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发文基金:
中国工程物理研究院电子工程研究所科技创新基金
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袁明权
供职机构:中国工程物理研究院电子工程研究所
研究主题:加速度传感器 压敏电阻 微机械加速度传感器 微电子机械系统 固有频率
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彭勃
供职机构:中国工程物理研究院电子工程研究所
研究主题:加速度计 结构层 掩膜 石英 微加速度计
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所获资助
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张茜梅
供职机构:中国工程物理研究院电子工程研究所
研究主题:压敏电阻 加速度传感器 微机械加速度传感器 微电子机械系统 键合
发表作品
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供职机构
所获资助
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武蕊
供职机构:中国工程物理研究院电子工程研究所
研究主题:压敏电阻 加速度传感器 微机械加速度传感器 键合 固有频率
发表作品
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供职机构
所获资助
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丁元萍
供职机构:中国工程物理研究院电子工程研究所
研究主题:微加速度开关 ANSYS 牺牲层 聚二甲基硅氧烷 键合技术
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李红
供职机构:中国工程物理研究院电子工程研究所
研究主题:键合技术 键合 量程 微加速度传感器 伺服控制器
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供职机构
所获资助
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王艳丽
供职机构:中国工程物理研究院电子工程研究所
研究主题:键合技术 键合 量程 微加速度传感器 伺服控制器
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所获资助
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