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国防科技重点实验室基金(5148502030)

作品数:1 被引量:7H指数:1
相关作者:蒋振新张永华杨春生丁桂甫倪智萍更多>>
相关机构:上海交通大学更多>>
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相关领域:自动化与计算机技术更多>>

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇自动化与计算...

机构

  • 1篇上海交通大学

作者

  • 1篇倪智萍
  • 1篇丁桂甫
  • 1篇杨春生
  • 1篇张永华
  • 1篇蒋振新

传媒

  • 1篇电子工艺技术

年份

  • 1篇2003
1 条 记 录,以下是 1-1
排序方式:
微弯曲面成型技术—多线成面技术被引量:7
2003年
熔融图形化的光刻胶是三维曲面微结构加工的常用方法,但是,一次成型的熔胶工艺制作的弯曲面曲率半径较小,为此我们提出了一种借助二次熔胶工艺实现微弯曲面成型的新工艺—多线成面技术。此方法工艺简单,一般具备光刻条件的实验室就能够实现,与传统工艺兼容性好,用它制作的弯曲面可以与灰阶掩膜光刻相比拟,介绍了该工艺的原理和特点。
蒋振新丁桂甫杨春生倪智萍张永华
共1页<1>
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