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国防科技重点实验室基金(5148502030)
国防科技重点实验室基金(5148502030)
作品数:
1
被引量:7
H指数:1
相关作者:
蒋振新
张永华
杨春生
丁桂甫
倪智萍
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相关机构:
上海交通大学
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发文基金:
国防科技重点实验室基金
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相关领域:
自动化与计算机技术
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机构
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上海交通大学
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倪智萍
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丁桂甫
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杨春生
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张永华
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蒋振新
传媒
1篇
电子工艺技术
年份
1篇
2003
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微弯曲面成型技术—多线成面技术
被引量:7
2003年
熔融图形化的光刻胶是三维曲面微结构加工的常用方法,但是,一次成型的熔胶工艺制作的弯曲面曲率半径较小,为此我们提出了一种借助二次熔胶工艺实现微弯曲面成型的新工艺—多线成面技术。此方法工艺简单,一般具备光刻条件的实验室就能够实现,与传统工艺兼容性好,用它制作的弯曲面可以与灰阶掩膜光刻相比拟,介绍了该工艺的原理和特点。
蒋振新
丁桂甫
杨春生
倪智萍
张永华
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