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国防科技重点实验室基金(5148502030)
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蒋振新
张永华
杨春生
丁桂甫
倪智萍
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蒋振新
供职机构:上海交通大学
研究主题:特征阻抗 共面波导 导体损耗 微机电系统 插入损耗
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丁桂甫
供职机构:上海交通大学
研究主题:微机电系统 MEMS 微机电系统技术 双稳态 微加工
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张永华
供职机构:华东师范大学
研究主题:MEMS 微电子机械系统 牺牲层 双稳态 光刻胶
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杨春生
供职机构:上海交通大学
研究主题:电极 MEMS 微机电系统 压电 微针
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倪智萍
供职机构:上海交通大学微纳米科学技术研究院微米纳米加工技术国家级重点实验室
研究主题:SU-8 微结构 微机电系统 高深宽比 光刻胶
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