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国家自然科学基金(51172054)

作品数：1 被引量：0H指数：0
相关作者：骆琳李厚训严帅汪桂根张化宇更多>>
相关机构：哈尔滨工业大学深圳市沃尔核材股份有限公司更多>>
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领域

  • 1个理学

主题

  • 1个硼掺杂
  • 1个微晶硅
  • 1个微晶硅薄膜
  • 1个晶化率
  • 1个光学
  • 1个光学特性
  • 1个硅薄膜
  • 1个PECVD法
  • 1个PECVD法...
  • 1个掺杂
  • 1个沉积速率
  • 1个衬底

机构

  • 1个哈尔滨工业大...
  • 1个深圳市沃尔核...

作者

  • 1个韩杰才
  • 1个张化宇
  • 1个汪桂根
  • 1个严帅
  • 1个李厚训
  • 1个骆琳
  • 1个佘星欣

传媒

  • 1个化工新型材料
  • 1个人工晶体学报
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国家自然科学基金(50902028)
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