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国家科技重大专项(2009ZX01031-002-008-002)

作品数:2 被引量:1H指数:1
相关作者:阎跃鹏王宏飞牟荣增刘荣江郭桂良更多>>
相关机构:中国科学院微电子研究所更多>>
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相关领域:自动化与计算机技术电子电信更多>>

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中国科学院微电子研究所
研究主题:半导体器件 衬底 沟道 半导体 刻蚀
发表作品相关人物相关机构所获资助研究领域
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