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深圳市南山区科技计划项目(2008021)

作品数:1 被引量:8H指数:1
相关作者:张维丽王臻刘伟强更多>>
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清华大学研究院
研究主题:抛光 存储介质 化学机械抛光 基底 抗菌
发表作品相关人物相关机构所获资助研究领域
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